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等离子体放电原理与材料处理书籍详细信息
- ISBN:9787030186591
- 作者:暂无作者
- 出版社:暂无出版社
- 出版时间:2007-3
- 页数:535
- 价格:75.00元
- 纸张:暂无纸张
- 装帧:暂无装帧
- 开本:暂无开本
- 语言:未知
- 丛书:暂无丛书
- TAG:暂无
- 豆瓣评分:暂无豆瓣评分
内容简介:
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
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其它内容:
书籍介绍
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。
书籍真实打分
故事情节:7分
人物塑造:6分
主题深度:5分
文字风格:6分
语言运用:6分
文笔流畅:3分
思想传递:3分
知识深度:3分
知识广度:4分
实用性:8分
章节划分:3分
结构布局:7分
新颖与独特:8分
情感共鸣:6分
引人入胜:8分
现实相关:3分
沉浸感:6分
事实准确性:8分
文化贡献:4分
网站评分
书籍多样性:6分
书籍信息完全性:4分
网站更新速度:5分
使用便利性:3分
书籍清晰度:8分
书籍格式兼容性:8分
是否包含广告:6分
加载速度:4分
安全性:5分
稳定性:8分
搜索功能:6分
下载便捷性:8分
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